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您的位置 \ 首頁(yè)產(chǎn)品中心超聲掃描顯微鏡-大型機(jī)系列
T722超聲掃描顯微鏡-IGBT
T722超聲掃描顯微鏡
技術(shù)規(guī)格書
一、基本信息
超聲掃描顯微鏡（SAM）是一種利用超聲波為傳播媒介的無(wú)損檢測(cè)成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對(duì)各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè)，能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過(guò)程中，不會(huì)對(duì)樣品造成損傷，不會(huì)影響樣品性能，可滿足IGBT產(chǎn)品的質(zhì)控需求。
1.1 產(chǎn)品名稱
超聲掃描顯微鏡
1.2 數(shù)量
1臺(tái)
1.3 規(guī)格型號(hào)
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規(guī)格型號(hào) |
機(jī)器示意圖 |
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T722 |
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注：上圖僅供參考，實(shí)際產(chǎn)品可能會(huì)有所差別
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上下水 |
水壓注水，水泵排水。 |
三、常用備品備件
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序號(hào) |
配件名稱 |
類型 |
單位 |
更換頻次 |
貨期 |
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1 |
探頭升降機(jī)構(gòu)連接片 |
陶瓷片 |
片 |
根據(jù)使用情況 |
一般一周 |
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2 |
探頭清潔器帶海綿基座 |
/ |
套 |
根據(jù)使用情況 |
一般一周 |
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3 |
探頭線 |
短 |
根 |
根據(jù)使用情況 |
一般一周 |
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4 |
探頭線 |
長(zhǎng) |
根 |
根據(jù)使用情況 |
一般一周 |
四、IGBT模塊多層結(jié)構(gòu)檢測(cè)能力
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測(cè)量能力 |
能力描述 |
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標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差 |
測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。 |
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多層掃描方式 |
具備多層掃描功能，可一次性掃描底板-DBC焊接層、DBC下銅層-DBC陶瓷結(jié)合層、DBC陶瓷-DBC上銅層、DBC上銅層-芯片焊接層、芯片-樹脂結(jié)合層缺陷。 最多可同時(shí)掃描50層。 |
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缺陷識(shí)別能力 |
在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。 |
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缺陷著色與統(tǒng)計(jì)功能 |
可自由設(shè)置缺陷著色閾值對(duì)缺陷進(jìn)行著色處理，根據(jù)著色效果，統(tǒng)計(jì)單一缺陷面積和整體缺陷面積及缺陷占比。 |
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定制服務(wù) |
可根據(jù)客戶要求定制IGBT防水治具。 |
五、軟件功能
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功能描述 |
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手動(dòng)掃描 |
可以通過(guò)手動(dòng)的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。釬著率計(jì)算默認(rèn)正峰值計(jì)算。 |
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探頭與C掃圖像對(duì)位 |
可通過(guò)點(diǎn)擊C掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。 |
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手動(dòng)分析 |
對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯，包括加框（確認(rèn)有效分析區(qū)域），測(cè)距，修改閾值，圖片剪裁，針對(duì)弧面圖形進(jìn)行弧面補(bǔ)償?shù)取?/span> |
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多種掃描模式 |
主要掃描模式：A掃描模式、B掃描模式、C掃描模式、快速掃描、自動(dòng)掃描、區(qū)域掃描等多種掃描模式； （1） A掃描：對(duì)某一定點(diǎn)接收到的超聲信號(hào)，進(jìn)行成像處理，橫坐標(biāo)為時(shí)間，縱坐標(biāo)為超聲信號(hào)，可以反映缺陷的位置、大小信息； （2） B掃描：對(duì)某一截面內(nèi)的超聲波信號(hào)，以灰度或彩色的形式顯示在二維平面內(nèi)，橫坐標(biāo)代表掃查機(jī)構(gòu)的位移方向，縱坐標(biāo)代表超聲波傳播的深度方向，反映缺陷在樣品內(nèi)的相對(duì)深度信息； （3） C掃描：對(duì)某一深度的截面進(jìn)行掃描，是X-Y二維平面內(nèi)移動(dòng)并選取A掃描特定深度的點(diǎn)的信號(hào)成像，顯示的是水平截面的缺陷信息； （4） 區(qū)域掃描：可自定義檢測(cè)區(qū)域，并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描； （5） 批量掃描：對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)； （6）一次多層C掃描：≤50層 |
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報(bào)告自動(dòng)生成 |
掃描后自動(dòng)生成掃描分析報(bào)告，報(bào)告中包含：最終掃描圖片、各種掃描參數(shù)設(shè)置等信息，可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。 |
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探頭管理 |
可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。 |
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一鍵自動(dòng)校準(zhǔn) |
可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化，校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移，保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 |
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不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度 |
系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫），其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。 |
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缺陷檢測(cè)能力 |
焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。 可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務(wù)。 |
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聲速檢測(cè) |
聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度。 |
六、廠務(wù)安裝條件
設(shè)備整機(jī)尺寸1400mm（長(zhǎng)）×1300mm（寬）×2000mm（高）。安裝方案基于空間占用最小化和維護(hù)/服務(wù)條件最優(yōu)化的需要，保證在設(shè)備周圍留有1000mm的空間，可以方便工作人員進(jìn)行操作、維護(hù)。
5.2 電腦桌
設(shè)備配有電腦桌，用于安放鼠標(biāo)、鍵盤及顯示器。
5.3 電力供應(yīng)
工作電源：220V±10%/50Hz，2KW
5.4 水源
設(shè)備需要自來(lái)水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃
5.5 環(huán)境溫度要求：20～35℃
5.6 環(huán)境相對(duì)濕度：35℃≤50％RH
5.7 周邊環(huán)境：
不要放在強(qiáng)磁場(chǎng)、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。
減少振動(dòng)，10Hz以下振動(dòng)的******振幅 0.7μm PP以下。
灰塵少、濕氣少，沒(méi)有腐蝕性氣體的地方。
電源的變化，限制到最小。
為了防止地震的損壞，四周一定要固定。
七、交付內(nèi)容和交付周期
1、交付內(nèi)容：
（1）設(shè)備主體：1臺(tái)；
（2）附屬設(shè)備：電腦2臺(tái)，電腦桌1張；
（3）配套軟件：配套操作軟件1份；
（4）出廠合格證：1份；
（5）設(shè)備操作使用手冊(cè)：1份；
（6）設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)手冊(cè)：1份；
（7）易損件、備件、維護(hù)工具清單：1份；
2、交付周期：預(yù)付款后，2個(gè)月內(nèi)交付。
八、技術(shù)培訓(xùn)
1、培訓(xùn)對(duì)象：
培訓(xùn)對(duì)象為設(shè)備操作使用人員、維護(hù)技術(shù)人員及設(shè)備管理技術(shù)人員；
2、培訓(xùn)目標(biāo)：
操作人員經(jīng)培訓(xùn)后，能正確操作使用設(shè)備，排除簡(jiǎn)單常見的故障；
維護(hù)技術(shù)人員及設(shè)備管理技術(shù)人員經(jīng)培訓(xùn)后，能掌握設(shè)備的機(jī)電原理，能排除故障，指導(dǎo)操作人員進(jìn)行日常維護(hù)工作。
3、培訓(xùn)方法：
采用現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)方式，由設(shè)備供應(yīng)商負(fù)責(zé)，使培訓(xùn)人員能夠獨(dú)立進(jìn)行設(shè)備開機(jī)運(yùn)行、測(cè)試、維護(hù)及管理。
4、培訓(xùn)內(nèi)容：
1）設(shè)備維護(hù)及安裝工作所必須的全部技術(shù)文件的講解；
2）設(shè)備的安裝與測(cè)試；
3）設(shè)備操作使用方法；
4）主要硬件功能模塊、結(jié)構(gòu)及工作原理；
5）軟件的用途、原理及維護(hù)方法；
九、標(biāo)準(zhǔn)材料聲速表
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材料 |
聲速（m/s） |
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鋁 |
Aluminum |
6305 |
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鋼 |
Steel,common |
5920 |
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不銹鋼 |
Steel,stainless |
5740 |
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黃銅 |
Brass |
4399 |
|
銅 |
Copper |
4720 |
|
鐵 |
Iron |
5930 |
|
銀 |
Sliver |
3607 |
|
金 |
Gold |
3251 |
|
鈦 |
Titanium |
5990 |
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聚氯乙烯 |
PVC |
2388 |
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樹脂 |
resin |
4076 |
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金剛石 |
diamond |
14000 |
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鋅 |
zinc |
4170 |
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有機(jī)玻璃 |
Organic glass |
2730 |
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陶瓷 |
ceramic |
5842 |
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錫 |
tin |
3230 |
|
水 |
1500 |
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