超聲波掃描顯微鏡應(yīng)用范圍-半導(dǎo)體
2021-02-25603人瀏覽
超聲波掃描顯微鏡是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測(cè)設(shè)備。通過發(fā)射高頻超聲波傳遞到樣品內(nèi)部，在經(jīng)過兩種不同材質(zhì)之間界面時(shí)，由于不同材質(zhì)的聲阻不同，對(duì)聲波的吸收和反射程度的不同，進(jìn)而采集的反射或穿透的超聲波能量信息或相位信息的變化來檢查樣品內(nèi)部出現(xiàn)的分層、裂縫或者空洞等缺陷。
SAT應(yīng)用范圍：半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、分立器件、SMT貼片、粘片、芯片、IC集成電器、晶閘管等
檢測(cè)內(nèi)容：
1、材料內(nèi)部裂紋
2、分層缺陷
3、空洞、氣泡、空隙
4、內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測(cè)、斷層檢測(cè)
5、焊接質(zhì)量檢測(cè)
